CO2 清洗设备 SJ-5 可以在 6 bar 的最大压缩空气消耗量为 250 l/min 的情况下运行。此外，还需要通过带有立管的 CO2 瓶供应液态 CO2。不需要电源连接，因为集成了免维护气动控制。可以实现对小表面、轮廓或单个点的强力清洁。主要应用在电子、传感器、半导体和光学行业。可以实现无残留物去除助焊剂和烟雾残留物以及颗粒和薄膜污染。

应用

许多不同的清洁应用已被成功展示：

· 从金属、陶瓷、聚合物和玻璃中去除污染物

· 去除 Si、InP 和 GaAs 晶圆上的颗粒和污点

· 清洁光学元件，即镀膜镜片、激光、IR 和 UV 光学元件、光纤

· 表面分析前的样品制备（俄歇、XPS、SIMS 和 AFM）

· 一般实验室、生产和洁净室清洁

· 各种基材制备

· 清洁真空系统组件，包括电子和离子光学器件、波纹管、机加工零件

· 从微电子和混合电路中去除颗粒

· 大望远镜镜

· 艺术修复和清洁，火灾后修复 

· 还有很多

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