MEMS芯片雪花清洗
蓝膜上的芯片
产品详情

                                   雪花清洗芯片

随着芯片的尺寸越来越小、芯片分选后在承载体(例如蓝膜、uv膜)上固定,使得芯片的清洗难度增加,而传统手动的芯片清洗方法,通过二流体或者高压泵清洗机对芯片进行清洗,往往清洗不彻底,造成芯粒掉落损失。为了提高芯片清洗效率,现有技术逐渐开发出一种芯片自动清洗装置,种用于芯片的全自动清洗装置和清洗工艺,此雪花清洗装置提高了芯片清洗效率,在芯片的清洗过程中减少了芯粒的大量掉落和损失,它利用二氧化碳三相特性原来,控制粒径1-200μm之间,夹杂着部分液体。柔和的清洁芯片表面,并且不会击落芯片。


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技术规格

使用cryo snow雪花清洗技术,并结合特制喷嘴、温控系统、净化装置、流量控制器等系统结合,完成低压、大雪花粒子覆盖清洗的过程。